Электронное излучение
Cтраница 3
В зависимости от свойств я-донора, характеристик электронного излучения и режимов последующих обработок получают негативный ( полимеризацией я-донора) или позитивный ( сублимацией не-полимеризующегося я-донора или его растворением слабополярным растворителем) микрорельеф. Рельеф имеет четкий край, разрешение лучше 1 мкм. Первоначальный слой - электропроводящий, а полученные негативные структуры - диэлектрики. При экспонировании наблюдают потерю слоем окраски, что делает возможным визуальный контроль. Хлоридные комплексы проявляют чувствительность примерно в 5 раз большую, чем бромидные. Чувствительность может быть повышена уменьшением содержания галогена в слое. [31]
Электропроводность отвержденной пиромеллитовым диан-гидридом смолы после действия электронного излучения увеличивается на один порядок, а энергия активации при этом не изменяется. [32]
Для препаративных целей наиболее часто применяют у-лучи и электронное излучение, так как а-частицы ( как и протоны и дей-тероны) имеют слишком малый пробег. [33]
Следовательно, речь здесь не может идти об электронном излучении. [34]
В большинстве случаев такими недостатками являются низкая чувствительность к электронному излучению, малая контрастность ( малая разрешающая способность) и высокая чувствительность к излучению в видимой части спектра. [35]
В большинстве случаев такими недостатками являются низкая чувствительность к электронному излучению, малая контрастность ( малая разрешающая способность) и высокая чувствительность к излучению в видимой части спектра, В табл. VII. [36]
 |
Проникающая способность у и электронного излучения. [37] |
Для сравнения рассмотрим электростатический генератор Ван-де - Граафа, который производит электронное излучение с энергией 1 5 Мэв и мощностью 2 5 кет. [38]
Новые методы получения покрытий и з адсорбированных на подложке мономеров под действием электронного излучения или тлеющего разряда позволяют получать тонкие покрытия без применения растворителей, обладающие хорошими дн-электрич. Покрытия можно получать на металлич. [39]
Для осуществления химических реакций в первую очередь представляют интерес у - и электронное излучения. По этим же причинам из рассмотрения исключаются протоны и дейтроны. Нейтроны обладают большой проникающей способностью, но они вызывают нежелательные ядерные реакции. [40]
Ее можно повысить снижением ускоряющего напряжения, что соответствует теоретической зависимости распределения энергии электронного излучения от ускоряющего напряжения. Экспонирование на металлических подложках также подтверждает влияние природы подложки на распределение энергии излучения в резисте. По данным ДТА и ТГА, в интервале 150 - 170 С происходит структурирование полимера, разложение начинается при температуре выше 200 С, а полностью полимер деструктирует при 350 С. На основе этих результатов для предварительной термообработки рекомендован интервал температур 100 - 130 С, для доотверждения - 170 - 190 С, когда протекает дополнительное сшивание. Резисты этого типа были успешно испытаны для создания рельефов с размером элементов 1 - 3 мкм. [41]
Это имеет то преимущество, что можно наблюдать сильно ионизирующие частицы в присутствии электронного излучения, которое иначе мешало бы измерениям. [42]
Ее можно повысить снижением ускоряющего напряжения, что соответствует теоретической зависимости распределения энергии электронного излучения от ускоряющего напряжения. Экспонирование на металлических подложках также подтверждает влияние природы подложки на распределение энергии излучения в резисте. По данным ДТА и ТГА, в интервале 150 - 170 С происходит структурирование полимера, разложение начинается при температуре выше 200 С, а полностью полимер деструктирует при 350 С. На основе этих результатов для предварительной термообработки рекомендован интервал температур 100 - 130 С, для доотверждения - 170 - 190 С, когда протекает дополнительное сшивание. Резисты этого типа были успешно испытаны для создания рельефов с размером элементов 1 - 3 мкм. [43]
Наличие в полишиффовых основаниях системы сопряжения приводит к делокализации энергии у - или электронного излучения. [44]
Мы особо остановимся на бета-спектрометрах, с помощью которых изучается распределение по энергии электронного излучения ядер или атомов. [45]
Страницы: 1 2 3 4