Cтраница 4
На поверхности образца могут появляться загрязнения, возникающие в результате разложения углеводородов под действием электронного излучения. Источником углеводородов являются масло и смазка вакуумной системы. Слой примесей на объекте растет достаточно быстро: при вакууме 133 3 - 10 - 5 Па скорость роста составляет 0 05 - 0 3 нм / с. [46]
![]() |
Зависимость относительной скр. [47] |
В качестве позитивных электронорезистов, помимо фоторезистов, испытывались прежде всего полимеры, действие электронного излучения на которые было изучено ранее. К изученным первым полимерам относятся ПМСТ, ПММА, ПБМА, ПФМА, ПИБ и некоторые другие. [48]
Хираока [51] весьма подробно исследовал влияние коротковолнового ( 254 нм), v и электронного излучения на ПММА, поли-грег-бутилметакрилат, ПМАК и ее ангидрид ПМАА. [49]
То, что говорилось выше о преобладании влияния ослабления и уменьшении роли геометрических факторов для электронного излучения, в еще большей степени справедливо для тяжелых заряженных частиц. Их пробег в конденсированных средах практически всегда очень мал по сравнению с размерами облучаемых систем и лежит в пределах от 10 - 4 до 10 1 см. Поэтому можно без особой ошибки отказаться в большинстве случаев от учета геометрии системы облучения и ограничиться только рассмотрением энергетических соотношений. Благодаря этому решение дозиметрической задачи в принципе относительно очень просто. [50]
Хираока [51] весьма подробно исследовал влияние коротковолнового ( 254 нм), у - и электронного излучения на ПММА, поли - rper - бутилметакрилат, ПМАК и ее ангидрид ПМАА. [51]
Для более эффективного использования излучения, а также более эффективного использования флуоресценции от усиливающих экранов и электронного излучения светочувствительный слой на рентгеновских пленках наносится с двух сторон целлулоидной подложки; в этом случае светочувствительный слой может быть в 2 раза тоньше, чем слой, взнесенный с одной стороны. [52]
Единственным радиоактивным изотопом водорода является тритий, который имеет период полураспада 12 41 лет и характеризуется электронным излучением с энергией 17 95 кэв. Измерение излучения трития возможно с помощью счетчика внутреннего наполнения. [53]