Температура - диффузия
Cтраница 3
Элементы III и V групп периодической таблицы Менделеева имеют значительно меньшую скорость диффузии в кремнии, чем в германии, в связи с чем приходится поднимать температуру диффузии до 1 200 С, что усложняет конструкцию термического оборудования. [31]
 |
Экспериментальная зависимость f / ( xM J диффузионного распределения концентра - юг. ции фосфора в кремнии. и 1 2 - участки, определяемые разными значениями коэффициентов диффузии Ю25. [32] |
Необходимо еще раз подчеркнуть, что полученные решения уравнения диффузии для различных граничных условий справедливы в том случае, если коэффициент диффузии - постоянная величина при температуре диффузии. При высоких концентрациях легирующей примеси может наблюдаться зависимость коэффициента диффузии от концентрации примеси. В качестве примера на рис. 5.7 приведен экспериментальный график диффузионного распределения концентрации фосфора в кремнии. В зависимости хорошо прослеживаются участки, характеризуемые различными значениями коэффициента диффузии. [33]
Температуру, при которой проводят диффузионные процессы, выбирают из следующих соображений: во-первых, она должна обеспечивать достаточно высокие значения коэффициентов диффузии примесей, во-вторых, при температуре диффузии не должно происходить нарушения поверхности кристаллических пластин полупроводника. [34]
В тех случаях, когда в двойной системе образуются интерметаллические фазы, при взаимной диффузии этих компонентов образуется, по крайней мере, одно интерметаллическое соединение, устойчивое при температуре диффузии. Образование интерметаллической фазы характеризуется наличием скачка на концентрационной кривой диффундирующего элемента. Скачок обнаруживается не только при образовании химического соединения, но и при фазовых превращениях. [35]
 |
Растворимость некоторых примесей в кремнии в твердой фазе. [36] |
Если профиль заданной концентрации в твердом теле ( см. рис. 7 - 5) требует наличия поверхностной ( исходной) концентрации примеси, превышающей ее растворимость в твердой фазе при температуре диффузии, то элемент нельзя использовать в качестве диффу-занта. [37]
Мартенссон [3.120, 3.249] использует, следующие пять переменных ступени: толщину пористого фильтра /, средний радиус пор а, давления на входе в ступень Р / и на-выходе легкой фракции РЬ, температуру диффузии TD. Как показано в разд. [38]
Более крупные реакционноспособные частицы сохраняются, по-видимому, на стадии отжига и начинают образовывать слабо связанные агрегаты, а затем вступают в химические реакции ( если эти два процесса возможно наблюдать отдельно) при достижении температуры диффузии в матрице, т.е. выше 0 5 Гпп. [39]
Алитированный слой выявляется этим реактивом в виде белого, нетравящегося слоя твердого раствора алюминия в а-железе, состоящего из столбчатых зерен, расположенных перпендикулярно к поверхности стали и отделенных от равноосных зерен сердцевины линией раздела, отвечающей разграничению Y-а-фаз при температуре диффузии. [40]
 |
Самодиффузия в серебре. [41] |
Значение коэффициента диффузии D, вычисленное по углу наклона прямой, построенной в координатах lg С, л 2, несколько занижено, так как расстояния, проходимые частицами в процессе диффузии при комнатной температуре, при которой производились измерения, меньше, чем соответствующие расстояния при температуре диффузии. [42]
А л и т и р о в а н н ы и ело и выявляется этим реактивом в виде белого, нетравящегося слоя твердого раствора алюминия в a - Fe, состоящего из столбчатых зерен, расположенных перпендикулярно к поверхности стали и отделенных от равноосных зерен сердцевины линией раздела, соответствующей разграничению - - о-фаз при температуре диффузии. [43]
На практике диффузию примеси осуществляют в легированный кремний. При температуре диффузии исходная и вводимая примеси оказываются практически полностью ионизированными, что приводит к образованию электрического поля, ускоряющего процесс диффузии. В результате действительное значение коэффициента диффузии оказывается выше расчетного. [44]
При выполнении азотирования выше эвтектоидной температуры, например при t %, сначала образуется а-фаза; затем при достижении ее предела насыщения образуется у-фаза, после насыщения которой на поверхности возникают у - фаза и, наконец, е-фаза. Таким образом, при температуре диффузии азотированный слой состоит из следующих фаз ( от поверхности к сердцевине): е - у - - у - а. При медленном охлаждении е - и а-фазы распадаются и выделяют избыточную у - фазу ( Fe4N), а у-фаза претерпевает эвтектоидное превращение, распадаясь на эвтектоидную смесь а у - фаз. [45]
Страницы: 1 2 3 4 5