Полупроводниковый тензорезистор
Cтраница 1
Полупроводниковые тензорезисторы, так же как и обычные резисторные ИП, используемые в мостовых измерительных устройствах, можно питать как постоянным, так и переменным током. Между мостовыми устройствами переменного тока с полупроводниковыми тензорезисторами и устройствами с обычными проволочными тензорезисторами не наблюдается каких-либо принципиальных пазличий. В то же впемя в мостовых схемах с полупроводниковыми тензорезисторами на постоянном токе при уравновешивании, особенно в случае прецизионных измерений, необходимо учитывать ряд важных факторов. Исходя из этого, в последующем изложении больше внимания уделено режимам работы мостовых измерительных устройств постоянного тока. [1]
Полупроводниковые тензорезисторы применяют значительно реже, чем металлические, так как они сильнее подвержены внешним воздействиям и сложнее в эксплуатации. Их используют для измерения сравнительно кратковременных деформаций в интервале от 1СГ8 до 10 - 3 при умеренных температурах. В основном их применяют в составе датчиков силовых и кинематических величин, для которых важна повышенная чувствительность и допустима более высокая погрешность. [2]
Полупроводниковый тензорезистор - это полупроводниковый резистор, в котором используется зависимость электрического сопротивления от механических деформаций. [3]
 |
Полупроводниковый тен-зодатчик.| Схема включения тензодатчика. [4] |
Полупроводниковые тензорезисторы обычно применяются для динамических измерений в широком диапазоне частот. Как правило, тензорезисторы включаются в цепь или по схеме делителя напряжения или по мостовой схеме. [5]
Полупроводниковые тензорезисторы, в отличие от проволочных и фольговых, имеют очень малые размеры, высокую чувствительность ( на два порядка выше) и высокий уровень выходного сигнала [ 40 i. Удельная электрическая проводимость полупроводника при данной температуре, обусловленная ионизацией примесей, определяется концентрацией носителей заряда и их подвижностями. [6]
 |
Сверлильный динамометр с полупроводниковыми тензометрами. [7] |
Полупроводниковые тензорезисторы имеют чувствительность примерно в 50 раз более высокую, чем проволочные тензодатчики, однако обладают меньшим диапазоном измерения деформаций. Перспективным является использование полупроводниковых датчиков в виде балочки или мембраны из монокристаллического сапфира или другого полупроводника с встроенной мостовой схемой. На рис. 274 дан пример использования полупроводниковых тензометров для измерения крутящего момента при сверлении. [8]
Полупроводниковые тензорезисторы применяют значительно реже, чем металлические, так как они сильнее подвержены внешним воздействиям и сложнее в эксплуатации. Их используют для измерения сравнительно кратковременных деформаций в интервале от 1СГ8 до 10 - 3 при умеренных температурах. В основном их применяют в составе датчиков силовых и кинематических величин, для которых важна повышенная чувствительность и допустима более высокая погрешность. [9]
 |
Проволочный тензорезистор.| Фольговые тензорезисторы. [10] |
Полупроводниковые тензорезисторы, сохраняя преимущества, присущие проволочным и фольговым гензорезисторам. [11]
Полупроводниковые тензорезисторы являются монокристаллами, и в принципе их размерные изменения не влияют на ползучесть. [12]
Полупроводниковые тензорезисторы обычно изготовляются непосредственно вырезанием из монокристалла полупроводникового материала. Это дорого и отнимает сравнительно много времени. В связи с этим ведутся интенсивные исследования с целью получения полупроводниковых тензорезисторов с нужными характеристиками на основе других возможных технологических процессов. Одна из возможностей заключается, например, в выращивании монокристаллов в виде усов путем конденсации паров. [13]
Промышленные полупроводниковые Тензорезисторы выполняются на базе германия и кремния р - или я-типа. [14]
Полупроводниковые тензорезисторы дискретного типа редстав-ляют собой тонкие полоски из кремния р-типа, вырезанные в направлении оси [ 1113, или из кремния n - типа, вырезанные в направлении оси [100]; применяется также германий р и n - типов. На концах полоски расположены контактные площадки, к которым припаиваются выводы; длина контактной площадки 0 25 - 0 6 мм. Полупроводниковые тензорезисторы имеют длину 2 - 12 мм, ширину 0 15 - 0 5 мм. [15]
Страницы: 1 2 3 4