Cтраница 4
Наиболее типичными условиями получения онитаксиальпых слоев арсенида галлия с использованием тримотилгаллия являлись следующие: общий расход водорода 15 s / мии, пары триметилгаллия в токе водорода ( концентрация 0 2 - 0 8 %) и разбавленный водородом арсин ( концентрация 10 %) вводили в реактор со скоростью 100 - 400 мл / мин, температуру подложки поддерживали в интервале 650 - 750е С. [46]
В работе [75] описано также получение: шитаксиальных слоев фосфида галлия и тиердых растворов ( laAs J v и ( iaAS vSI v термическим разложе-нием триметилгаллия с соответствующими смесями гидридов. [47]
Производные элементов VI группы - диметиловый эфир, диметилсуль-фид, - селенид и - теллур ид - обладают более слабыми донорными свойствами по отношению к триметилгаллию, чем триалкиламины и фоефины. [48]
В работе [72] был использован диотилципк и триэтилбор для р-типа легирования; тетраметилсвинец и триметилсурьма использованы для п-типа легирования эпитаксиалышго слоя арсенида галлия, получаемого при термическом разложении триметилгаллия к смеси с мытньяксодержащим соединением. [49]
Определение коэффициентов разделения в системе МОС - нримесь, для органических соединений галлия и мышьяка, проведенное в работах [6-8], показало, что при ректификации наиболее трудно отделимыми от эфирата триметилгаллия примесями являются алкильные соединения кадмия, олова, свинца, сурьмы, висмута, а от триметилгаллия, кроме того, и йодистый метил. Ректификационная очистка триметиларсина лимитируется примесями кремния, селена, теллура и йодистого метила. [50]
Ввиду того, что йодистый метил в условиях проведения процесса получения арсенида галлия ( температура - 650 С) взаимодействует с осаждаемыми на подложке слоями арсенида галлия, неконтролируемые количества йодистого метила в применяемом триметилгаллии осложняют процесс, делают его невоспроизводимым. В связи с этим возникает необходимость тщательной очистки металлоорганиче-ского соединения галлия от йодистого метила. Близость коэффициентов разделения этих веществ делает ректификацию неэффективной. [51]
В системе Оа ( СН3) з - H - C7Hi6 значение коэффициента разделения в области малых концентраций н - С7Н16 достаточно велико ( а - 3 7) для эффективного удаления примеси н-гептана из триметилгаллия. Большее, по сравнению с идеальным, значение коэффициента разделения ( а 3 7) для раствора триметилгаллия в н-гептане позволяет более полно выделять триметилгаллий в колонне-реакторе. [52]