Cтраница 2
В результате содружества предприятий СССР и ГДР создана напылительная установка Трузиома SN6 - 12, состоящая из следующих узлов: станины, дозирующего устройства трубопроводов, вентиляционного устройства, пистолета-распылителя, электрического блока и нагревательного устройства. Установка снабжена двумя точными дозирующими насосами, частота вращения которых регулируется редукторами с зубчатым зацеплением. [16]
Достаточно простой по конструкции и широко применяемой в напылительных установках является коническая кольцевая ловушка. Этот тип ловушек обладает значительной удельной проводимостью. Следует заметить, что в этих ловушках молекулы масла, отраженные от стенки корпуса ловушки, могут пролетать в откачиваемый объем, минуя холодные поверхности. [17]
Механический комбинированный ввод. [18] |
Подвод электропитания к устройствам, расположенным в вакуумных камерах напылительных установок, производят при помощи специальных вакуумноплотных электрических изолированных вводов. [19]
Смотровое окно. / - корпус. 2 - стекло. 3 - уплотняющая прокладка. 4 - канал водяного охлаждения. 5 - кольцо. в - винт. 7 - прижимное кольцо.| Смотровое окно с протирочным устройством. [20] |
Для наблюдения за процессами, происходящими в рабочих камерах цельнометаллических напылительных установок, используют смотровые окна. При работе вакуумных напылительных установок на смотровых стеклах появляются пленки различного рода загрязнений, что мешает наблюдению. [21]
Схема установки для предварительного формования стеклопластиков шланговым способом. [22] |
В 1960 г. Всесоюзным проектно-технологическим институтом тяжелого машиностроения была создана напылительная установка УНС-1 для формования стеклопластиков шланговым способом. [23]
На рис. 3 - 91 представлена другая конструкция вакуумной прогреваемой напылительной установки с применением комбинированной откачки. [24]
Здесь будут кратко рассмотрены некоторые виды уплотнений, широко применяемые в напылительных установках. [25]
Эффективным способом очистки является ионная бомбардировка поверхности подложки в тлеющем разряде, для чего в напылительных установках предусматривают особые электроды, к которым от маломощного высоковольтного источника подводится напряжение в несколько киловольт. Электроды изготавливаются из алюминия, который имеет самую низкую скорость распыления среди металлов. [26]
Успехи криогенной техники позволяют в настоящее время реально обсуждать возможности применения криогенных конденсационных насосов для откачки напылительных установок. [27]
Высокочастотный коаксиальный ввод.| Термопарный ввод. [28] |
Для перекрытия вакуумных коммуникаций, осуществления грубой и тонкой регулировки давлений, напуска определенных газов в рабочий объем напылительных установок применяются затворы, краны, вентили и на-текатели, которые в зависимости от конкретного случая могут иметь самую различную конструкцию, форму и размеры. [29]
Уплотнение Вильсона. [30] |