Cтраница 5
Существенный недостаток метода Чохральского заключается в том, что для его реализации необходим тигель, который может оказаться источником примесей. Кроме того, сравнительно большой объем расплава, характерный для метода Чохральского, способствует возникновению сложных гидродинамических потоков, которые, в свою очередь, снижают условия стабильности процесса кристаллизации и приводят к неоднородному распределению примесей в монокристаллах. Этот факт отражен на рис. 40, согласно которому наибольшая неоднородность возникает в центральной части растущего монокристалла. Один из эффективных способов устранения указанной неоднородности состоит в принудительном перемешивании расплава. Обычно такие условия достигаются путем вращения растущего монокристалла и тигля в противоположных направлениях. [61]
Под описанием турбулентной диффузии следует понимать статистическое описание поля концентрации примеси при тех или иных начальных и краевых условиях, включающих и задание всех источников примеси. [62]