Отжиг - пленка
Cтраница 5
Для подтверждения определяющей роли кислорода в изменении электрофизических свойств пленок р - Bi0j5Sblj5Te3 при отжиге их на воздухе, при тех же температурах был выполнен отжиг толстых пленок в чистом кислороде. Характер изменения электрофизических свойств пленок после отжига в кислороде оказался таким же, как и при отжиге на воздухе, с той только разницей, что увеличение сопртивления пленок при отжиге в кислороде происходило более интенсивно. Величина йокисл после отжига в кислороде оказалась примерно в 3 раза выше, чем после отжига пленок на воздухе. На основании этих результатов в пленках р - Bi0j5Sbij5Te3 были оценены коэффициент диффузии кислорода D, энергия активации е акт а также критическая концентрация Л кр, при которой окисные прослойки практически полностью обволакивают границы блоков, препятствуя тем самым прохождению по ним тока. [61]
 |
Микроснимок в электронном микроскопе ( 1 ( Н. - золотой пленки ( толщина SCO А выращенной на NaC. при темгзратуре 270 С, имеющей дефекты упаковки и двойники. [62] |
В литературе имеется много сообщений о фазовых переходах в пленках сплавов. Эти переходы происходят в зависимости от компонентного состава систем сплавов и от условий образования пленки. Этот вопрос ке обсуждается в данном разделе, однако в качестве типичного примера фазового перехода в эпитаксиальных пленках сплавов можно указать отжиг пленок сплава Аи с 15 ат. [63]
Страницы: 1 2 3 4 5