Cтраница 5
Замыкание золотой проволоки с краем кремниевой пластины может возникнуть ввиду того, что концы выводов корпуса расположены ниже уровня, на котором находится контактная поверхность кремниевой пластины. Отказ такого типа может быть обнаружен после испытаний на центрифуге. [61]
На рис. 16 приведена топограмма кремниевой пластины, покрытой серебряной пленкой, снятая в условиях кинематического контраста. В пленке есть пузырьки слабой адгезии, дающие на рентгеновской топограм-ме два полукруга с линией нулевого контраста, нормальной к направлению вектора обратной решетки. На рис. 17 показана топограмма кремниевой структуры с молибденовой пленкой, в которой есть треугольные окна. Эта картина получена в условиях динамического контраста, который более предпочтителен для выявления градиента напряжений от краев окна. Знак напряжения может быть определен посредством следующего правила контраста: топограмма в отраженном пучке показывает избыточную интенсивность в том участке, где g направлен в центр кривизны локально искривленных брэгговских отражающих плоскостей; недостаточная интенсивность имеет место там, где вектор g направлен на вогнутую сторону локально искривленных плоскостей. Окно в пленке, показанное на рис. 17, находящееся под действием растягивающего напряжения, передает сжимающее усилие подложке, и контур окна на топограмме характеризуется избыточной интенсивностью на стороне положительного направления вектора g, и наоборот. Вышеупомянутое правило контраста аналогично правилу Эшби - Брауна для дифракционного контраста в просвечивающей электронной микроскопии. Однако, когда производится сравнение рентгеновских топограмм и топограмм электронной микроскопии, следует иметь в виду, что принято изготавливать рентгеновские топограммы в виде негативов, а топограммы электронной микроскопии в виде позитивов. Требуется мысленная трансформация черно-белого контраста в этих двух случаях. [62]