Cтраница 5
Установлена зависимость скорости образования карбида ниобия от добавок метана в парогазовую смесь. Показано, что добавка метана позволяет резко увеличить скорость образования карбида ниобия при работе в диффузионной области и тем самым получать покрытия большой толщины. [61]