Cтраница 5
Задубленный слой для повышения кислотостойкое подвергают термообработке при 220 С в течение 304 - 40 мин. В результате такой обработки удаляются остатки растворителя и происходит окончательная полимеризация фоторезиста. [61]
Смесь мономера и полимера находится в реакторах приблизительно в течение 60 ч при непрерывной подаче азота, для предотвращения окисления стирола и полистирола кислородом воздуха. Из реакторов полученный форполимер постепенно поступает в башню для окончательной полимеризации. Тепловой режим устанавливают для каждой царги таким образом, чтобы полимеризация закончилась по истечении 25 - 30 ч пребывания реакционной смеси в колонне. Чем быстрее нарастает температура в секциях башни при постоянной температуре 100 - 110 С в первой царге, тем быстрее происходит процесс полимеризации и, следовательно, тем выше производительность башни. Однако при этом снижается качество получаемого полимера и его молекулярная масса. [62]