Cтраница 1
Тонкопленочные резисторы представляют собой тонкую пленку резистивного материала на поверхности диэлектрической подложки. [1]
Тонкопленочные резисторы относительно нечувствительны к шероховатости поверхности до тех пор, пока она не превышает толщины пленки. Материалами для подложек, используемых цля этой цели, являются: стекла, полированный плавленый кварц, керамика и монокристаллические пластины. Данные Брауна [20] и Коффмэна и Тэнауера [21] в табл. 7 дают хорошее совпадение и показывают растущее влияние шероховатости поверхности на удельное сопротивление. [2]
К определению R тонкопленочного резистора.| К определению R зигзагообразного тонкопленочного резистора. [3] |
Тонкопленочный резистор рассчитывают исходя из конструктивных, технологических и электрических требований, но без учета существующих стандартных номиналов. [4]
Тонкопленочные резисторы сравнительно устойчивы к изменению температуры. [5]
Два варианта оформления пленочных резисторов. [6] |
Тонкопленочные резисторы сравнительно устойчивы к изменению температуры. TKR в диапазоне температур ( - 60ч - 125 С) находится в пределах от - 4 до 2 10 - 4 К 1 для различных типов. Частотная характеристика резистора ограничивается паразитной емкостью. [7]
Схематическое изображение пленочных резисторов. [8] |
Тонкопленочные резисторы, представляющие собой тонкую проводящую пленку, формируются на поверхности кремниевой пластины после создания в ней активных элементов или на диэлектрической подложке. Они изолируются от остальной части полупроводниковой интегральной схемы слоем двуокиси кремния. [9]
Тонкопленочные резисторы могут быть изготовлены путем напыления жидкого металла через трафарет, электрическим осаждением, испарением в вакууме и некоторыми другими способами. Для этих целей применяются различные металлы и их сплавы. Резисторы, получаемые напылением, широко используются в производстве миниатюрных радиоэлектронных устройств и будут рассмотрены ниже. [10]
Тонкопленочные резисторы и конденсаторы применяют в сочетании с полупроводниковыми диодами и транзисторами, которые без герметизирующего корпуса имеют габаритные размеры порядка десятых долей мм. [11]
Тонкопленочные резисторы изображены так, что большим номинальным значениям сопротивлений соответствуют более узкие и длинные конфигурации. Такое преобразование облегчает предварительную оценку соотношений топологических зон на начальном этапе проектирования. Отметим, что на преобразованных схемах допускаются и другие обозначения элементов. [12]
Тонкопленочные резисторы ( ТПР являются наиболее распространенными тонкопленочными элементами гибридных интегральных схем, формированию которых уделяется наибольшее внимание при производстве гибридных схем. Основными параметрами ТПР, определяющими выбор их конструкции и материалов для их изготовления, являются величина сопротивления, номинальная мощность рассеяния, временная и температурная стабильность, слабая зависимость удельного сопротивления от различных факторов технологического процесса формирования. [13]
Тонкопленочный резистор, помещенный в головку, выполняет функцию оконечной нагрузки широкополосного тракта, причем во всей полосе частот ( до 18 ГГц) достилается хорошее согласование нагрузки с трактом. [14]
Тонкопленочные резисторы обычно выполняют из нихрома ( 80 % № и 20 % Сг), тантала или соединения моноокиси кремния с хромом. Если толщина резистивной пленки постоянна, то сопротивление резистора определяется только его геометрической формой и не зависит от размеров. В частности, сопротивление квадратного резистивного участка не зависит от размера стороны квадрата, а определяется только удельным сопротивлением материала и толщиной пленки. Сопротивление тонкопленочного резистора при заданной толщине резистивной пленки определяется тем, сколько квадратов может уместиться по его длине. [15]