Cтраница 5
В последнее время все шире применяют рениевые тонкопленочные резисторы. Основным преимуществом рения перед другими материалами, используемыми для изготовления тонкопленочных резисторов, являются: устойчивость при высоких температурах, что позволяет изготовлять резисторы с высокой мощностью рассеяния при высокой температуре; высокая стабильность пленок; невысокий температурный коэффициент сопротивления; незначительное изменение сопротивления от толщины, что облегчает изготовление высокоомных резисторов с малым разбросом сопротивления. В том случае, когда необходимо получить высокостабильные пленки с большим поверхностным сопротивлением ( порядка нескольких тысяч ом на квадрат) и низким температурным коэффициентом сопротивления, применяют тантал, вольфрам и рений. [61]
Это достигается тщательным выбором материалов для тонкопленочного резистора и подложки, чтобы при изменении температуры изменение сопротивления, обусловленное деформацией, возникающей из-за несоответствия коэффициентов термического расширения пленки и подложки, компенсировало изменение сопротивления, обусловленное температурным коэффициентом удельного сопротивления самого материала. [62]
Многокомпонентные ре зистинные сплавы МЛТ для тонкопленочных резисторов, содержащие Si, Fe, Cr, Ni, Al, W, устойчивы к окислению и воздействию химически активных сред. [63]
Для машинного расчета геометрических размеров группы тонкопленочных резисторов из одного материала с различными значениями / Сф можно воспользоваться программой, структурная схема которой приведена на рис. 4.3. В качестве исходных используют данные по электрическим, конструктивно-технологическим и эксплуатационным требованиям, а также параметры выбранной резистивной пленки. В результате расчета определяется топология резисторов, их геометрические размеры и суммарная площадь. [64]
Для того чтобы обеспечить заданные номиналы тонкопленочных резисторов при минимуме производственных затрат, необходимо знать влияние технологических факторов на свойства резистивных пленок. Эти взаимосвязи устанавливаются экспериментальным путем при разработке той или иной технологии производства резисторов. Можно назвать более 10 факторов, которые так или иначе могут влиять на конечное значение параметров резисторов. [65]
В процессе исследования технологических процессов напыления тонкопленочных резисторов было замечено, что при определенных условиях характер распределения отклонений величины сопротивления резисторов от номинального по поверхности подложки ( градиентная погрешность) заметно отличается от закона Гаусса. [66]