Тонкопленочный резистор

Cтраница 2

Тонкопленочные резисторы из тантала и титана открывают возможность совмещения функций сопротивления и емкости в одном элементе. Эти резисторы характеризуются высокой стабильностью. Соотношение металлов и окислов этих металлов ( Та2О5, TiO2) и азотистых соединений тантала ( Ta2N, TaN) в резисторах можно регулировать. [16]

Конструкция постоянного проволочного резистора.| Конструкция постоянных микромодульных резисторов.| Конструкция подложки с тонкопленочными резисторами, проводниками и контактными площадками. [17]

Постоянный тонкопленочный резистор ИМС представляет собой нанесенный через специальную маску на изоляционную подложку 4 ( рис. 65) тонкий слой напыляемого материала в виде прямоугольной полоски или формы типа меандр. Снаружи резисторы и другие тонкопленочные элементы, кроме коммутационных площадок, покрывают распыляемым защитным слоем моноокиси кремния. [18]

Зависимость приращения температуры резисторов из кермета при мощности 8 103 Втсм-2 от площади резистора.| Изотермы для танталовых резисторов на стеклянных подложках в зависимости от удельной мощности и соотношения площадей подложки и резистора. [19]

Под тонкопленочные резисторы, если нет серьезных причин делать иначе, целесообразно занимать всю доступную площадь. Это позволяет уменьшить погрешности, связанные с неточным воспроизведением размеров, и увеличить величину рассеиваемой мощности. На практике пло щадь всегда бывает ограничена и основная ее часть должна быть отдана под резнсто - 0 3 ры, рассеивающие самую боль - шую мощность. [20]

Тонкопленочиый резистор. [21]

Проектируя тонкопленочные резисторы, предполагают также, что и толщина резистивной пленки одна и та же для всех одновременно изготавливаемых резисторов. [22]

Преимущества тонкопленочных резисторов перед полупроводниковыми заключается в их более низких температурных коэффициентах, более низкой шунтирующей емкости, большей точности, а также в возможности размещения их на меньшей площади и луч-шеи изоляции. [23]

Геометрия тспко. [24]

Расчет тонкопленочного резистора заключается в определении его геометрических размеров по заданной номинальной величине сопротивления при выбранном напыляемом материале. [25]

Расчет тонкопленочных резисторов осуществляют в такой последовательности. [26]

Конструкция пленочного конденсатора. [27]

Толщина тонкопленочных резисторов лежит в пределах от 0 03 до 0 3 мкм, ширина резисторов при использовании масочной технологии обычно равна 200 мкм, а при фотолитографических методах 20 - 50 мкм. Возможность изготовления миниатюрных резисторов позволяет использовать их в совмещенных ИС и в гибридных ИС с высокой плотностью монтажа. В ВЧ ИС малые размеры резисторов особенно необходимы для уменьшения их паразитных емкостей. [28]

Материалы тонкопленочных резисторов можно условно разделить на несколько групп: резистивные материалы на основе чистых металлов, резистивные материалы на основе металлических сплавов, резистивные материалы на основе микрокомпозиций, кер-меты, полупроводниковые материалы и пр. [29]

Неоднородность МПЛ в виде скачка ширины полоски.| Эквивалентная схема резистора на СВЧ ( а и зависимость его активного сопротивления от частоты [ б ]. [30]

Страницы: 1 2 3 4 5