Cтраница 1
Фотоповторитель ЭМ-510 - девятиместный, точность позицирования 3 мкм, шаг мультипликации 0 01 - 5 мм, масштаб съемки 10, разрешающая способность 350 - 380 линий / мм. [1]
Поэтому наиболее точные фотоповторители чаще всего одно-тубусные. [2]
![]() |
Параметры зарубежных импульсных ламп. [3] |
В СССР выпущен фотоповторитель с импульсной лампой ИСШ-4. Основные характеристики лампы ИСШ-4 приведены ниже. [4]
Наибольшее применение нашли фотоповторители ЭМ-505, ЭМ-510, ЭМ-525 и др. Фотоповторитель ЭМ-505 одноместный, точность позицирования 3 мкм. [5]
![]() |
Котировочное устройство с концевыми мерами. [6] |
В СССР изготовлен автоматический фотоповторитель АФШ-1 с подстройкой фокуса во время позиционирования координатного столика. Пневматический датчик позволяет контролировать смещение объектива по оси Z в пределах 0 3 мкм. [7]
Мультипликация производится в фотоповторителях ( фотоштампах), где в промежутках между экспонированием каждого участка перемещают пластину эталонного фотошаблона с шагом, соответствующим размеру кристалла микросхемы. Существуют также многопозиционные фотоштампы с многолинзовыми объективами, дающие одновременно большое число изображений, что ускоряет процесс. С эталонного шаблона методом контактной печати изготовляют рабочие шаблоны, которые и используют в процессе фотолитографии. При наложении шаблона на полупроводниковые пластины его поверхность повреждается и шаблон изнашивается. [8]
![]() |
Классификация методов мультипликации. [9] |
По характеру движения стола фотоповторители разделяются на приборы со старт-стопным движением стола и фотоповторители с непрерывным движением стола. [10]
Независимо от конструктивного варианта фотоповторителей они имеют однотипные устройства и узлы: прецизионный координатный стол, контрольную систему точных перемещений координатного стола, проекционную оптическую систему с осветительным устройством, систему управления. [11]
Другой принцип реализован в фотоповторителе производства фирмы Karl Zeiss ( ГДР), где использована жесткая фокусировка. [12]
![]() |
Сравнительные характеристики фотоповторителей изображения. [13] |
К системам механической мультипликации относятся шаговые фотоповторители, основанные на последовательной фотопечати единичных изображений на светочувствительный слой, перемещаемый с помощью прецизионного двухкоординатного стола. [14]
Микрокарты могут изготовляться с помощью фотоповторителей ити путем подбора негативов из рулонного микрофильма. [15]