Фотоповторитель

Cтраница 2

В табл. 29 приведены основные характеристики фотоповторителей ( фотоштампов), предназначенных для получения эталонных фотошаблонов путем многократной проекционной фотопечати ( мультипликации) изображения промежуточного негатива. На многопозиционных фотоповторителях изготавливают одновременно все фотошаблоны, входящие в комплект. Это позволяет повысить производительность процесса и улучшить совмещаемость фотошаблонов комплекта. [16]

Комплекты фотошаблонов, изготовленные на этом фотоповторителе, используют как при разработке ИМС, так и при их массовом производстве. Фотоповторитель оснащен объективами, позволяющими получить на фотошаблонах элементы размером 1 5 - 2 мкм. В целях защиты от внешних вибраций фотоповторитель оснащен пневматической системой. В системе управления предусмотрен набор программ с центрального пульта. [17]

Эталонный фотошаблон изготовляется на мультипликаторе ( фотоповторителе) путем многократного фотографирования изображения с промежуточного фотошаблона. Перемещение рабочего стола фотоповторителя на заданный шаг по осям X и У производится автоматически. [18]

Осветители с ртутными лампами использованы в ряде фотоповторителей и генераторов изображения. Примером являются фотоповторитель фирмы David W. [19]

Принципиальная схема од - Эта пластина механически нопозяционного фотоповторителя. [20]

На рис. 3 - 9 показана схема однопозиционного фотоповторителя. Координатный стол, несущий пластинку со светочувствительным слоем, равномерно перемещается по направляющим, относительно неподвижного тубуса проекционной системы, производя построчное сканирование с экспонированием фотопластины. [21]

I. Упрощенная схема двукратного пересъема и мультипликации изображения на фотошаблоне. [22]

Мультипликация выполняется с помощью специальной фотокамеры, называемой фотоповторителем, где прецизионный подвижный координатный стол перемещает фотопластину, на которую периодически экспонируются повторяющиеся изображения рисунка промежуточного фотошаблона. [23]

Схема автоматической линии изготовления фотошаблонов. [24]

К этим преобразователям относятся: камера генератора изображений, фотоповторитель, устройство контроля полупроводниковых пластин и фотошаблонов, установка для проекции соединений на слой фоторезиста, периферийная ЭВМ для анализа микросхем и пульт визуального контроля и индикации. [25]

Мультиплицирование изображения фотошаблона в оптико-механическом методе осуществляют с помощью фотоповторителей. Фотоповторители - устройства, состоящие из одной или нескольких редукционных камер с высоким разрешением и координатного стола с точностью перемещения 0 2 мкм. Уменьшенное до истинных размеров изображение элемента схемы проецируется редукционной камерой на фотопластинку, помещенную на координатный стол. Экспонирование участков фотопластинки производится с шагом, который задается перемещением координатного стола. Изображение разворачивается по строкам и столбцам вплоть до заполнения всей активной площади фотошаблона. [26]

Однако если использовать двухступенчатую схему изготовления фотошаблонов: генератор изображения - фотоповторитель, то процесс создания микросхемы значительно сокращается. В этом случае можно считать процесс автоматизации, проведенный наполовину. [27]

Наибольшее применение нашли фотоповторители ЭМ-505, ЭМ-510, ЭМ-525 и др. Фотоповторитель ЭМ-505 одноместный, точность позицирования 3 мкм. [28]

Для повышения производительности процесса мультипликации и повышения совмещаемости комплекта фотошаблонов используются М ногопозиционные фотоповторители. [29]

Однако очевидно, что в той и другой системе можно обойтись без фотоповторителя, как без отдельной единицы технологического процесса изготовления фотошаблонов. Кроме того, операции, связанные с разрядкой и транспортировкой кассет и технологической тары, также поддаются автоматизации. [30]

Страницы: 1 2 3 4 5