Фотоповторитель
Cтраница 4
Таким образом, ошибки во взаимном расположении преобразователей в пределах ( 0 1 - т - - г - 0 5), реализуемые на современных фотоповторителях и установках совмещения и экспонирования, не оказывают существенного влияния на вносимое затухание фильтров ПАВ. [46]
ЭВМ анализа микросхем; 2 - индикаторный пульт для ввода оператором данных в ЭВМ; 3 - центральная ЭВМ; 4 - генератор изображений ( изготовление промежуточных оригиналов); 5 - фотоповторитель; 6 - установка контроля фотошаблонов; 7 - выборочное экспонирование межсоединений; А - ввод координатной функции; Б - ввод функции преобразователя. [47]
После того как вычислительная машина произвела сравнение выходных данных индикатора с хранящимися в ее памяти схемными параметрами, она может генерировать две программы - одну для управления генератором изображения, другую для фотоповторителя. Цифровые выходные данные интерферометров в системе контроля перемещения координатных столиков установок могут обеспечить на пульте индикатора действительное изображение разрабатываемой микросхемы. Поэтому разработчик может вносить в схему поправки с помощью фотокарандаша прямо в процессе изготовления фотошаблонов. [48]
Комплекты фотошаблонов, изготовленные на этом фотоповторителе, используют как при разработке ИМС, так и при их массовом производстве. Фотоповторитель оснащен объективами, позволяющими получить на фотошаблонах элементы размером 1 5 - 2 мкм. В целях защиты от внешних вибраций фотоповторитель оснащен пневматической системой. В системе управления предусмотрен набор программ с центрального пульта. [49]
Мультиплицирование изображения фотошаблона в оптико-механическом методе осуществляют с помощью фотоповторителей. Фотоповторители - устройства, состоящие из одной или нескольких редукционных камер с высоким разрешением и координатного стола с точностью перемещения 0 2 мкм. Уменьшенное до истинных размеров изображение элемента схемы проецируется редукционной камерой на фотопластинку, помещенную на координатный стол. Экспонирование участков фотопластинки производится с шагом, который задается перемещением координатного стола. Изображение разворачивается по строкам и столбцам вплоть до заполнения всей активной площади фотошаблона. [50]
Процесс мультипликации заключается в создании эталонного фотошаблона. Фотоповторитель обычно состоит из следующих основных узлов: основания координатного стола с амортизаторами; системы прецизионного координатного стола; проекционной системы ( одной или нескольких); электронного блока управления и системы управления работой блока экспонирования. [51]
В табл. 29 приведены основные характеристики фотоповторителей ( фотоштампов), предназначенных для получения эталонных фотошаблонов путем многократной проекционной фотопечати ( мультипликации) изображения промежуточного негатива. На многопозиционных фотоповторителях изготавливают одновременно все фотошаблоны, входящие в комплект. Это позволяет повысить производительность процесса и улучшить совмещаемость фотошаблонов комплекта. [52]
Осветители с ртутными лампами использованы в ряде фотоповторителей и генераторов изображения. Примером являются фотоповторитель фирмы David W. [53]
Эталонный фотошаблон изготовляется на мультипликаторе ( фотоповторителе) путем многократного фотографирования изображения с промежуточного фотошаблона. Перемещение рабочего стола фотоповторителя на заданный шаг по осям X и У производится автоматически. [54]
Таким образом, На ней Изображены структуры не одной ИС, а множества микросхем ( которые удается разместить на имеющейся площади) и, кроме того, метки для правильного размещения структур. Тиражирование и уменьшение промежуточного фотошаблона выполняет так называемый фотоповторитель. [55]
С этого негатива осуществляются мультиплицирование с помощью фотоповторителя и изготовление окончательного негатива-фотошаблона, на котором расположение и размеры элементов микросхемы соответствуют реальным. Полученный фотошаблон должен изготавливаться с применением высокоразрешающей оптики на фотопластинах с разрешением около 1000 линий / мм. Для этого на стеклянную пластинку, покрытую слоем хрома, наносят фоторезист, экспонируют контактным способом через фотошаблон с высоким разрешением, проявляют и травят. На металлизированных фотошаблонах удается получить линии шириной 0 4 - 0 7 мкм. [56]
 |
S. Схемы технологических процессов уменьшения изображения. [57] |
В результате первичного отсъема специальной редукционной камерой, как правило, получается промежуточный фотошаблон, представляющий собой увеличенное изображение одной схемы. Промежуточный фотошаблон затем мультиплицируется с одновременным уменьшением на фотоповторителях. [58]
Mann ( США) и Karl Zeiss Gena ( ГДР) выпускают фотоповторители с импульсными источниками. [59]
Объективы для изготовления промежуточных оригиналов рассчитаны с учетом еще одной последующей ступени уменьшения изображения фотоповторителями. Поэтому требования к разрешающей способности для этих объективов не столь высоки. [60]
Страницы: 1 2 3 4 5