Фотоповторитель

Cтраница 5

Муаровый интерферометр с решетками описанного типа широко применяется в автоматических устройствах, связанных с точными измерениями линейных и угловых перемещений. На этой основе созданы делительные машины с интерференционным управлением для изготовления дифракционных решеток, универсальные измерительные микроскопы с цифровым отсчетом, компараторы, длиномеры, генераторы изображения и фотоповторители для изготовления фотошаблонов микроэлектронных схем, стереокомпараторы для измерения координат, приборы для гамма-резонансного анализа и ряд других точных измерительных устройств. Часть этих приборов выпускается серийно. [61]

Менее сложные рисунки могут быть проэкспониро-ваны за меньшее время, но и оно измеряется часами на один экспонированный слой. Поэтому применение одно-лучевых установок для экспонирования экономически целесообразно для изготовления фотошаблонов как в масштабе 1: 1 в уже мультиплицированном виде, так и для относительно быстрого изготовления точных промежуточных металлизированных фотошаблонов для последующей мультипликации с уменьшением на обычном проекционном фотоповторителе. [62]

В случае, если не требуется особой точности рисунка или когда требуемый размер фотошаблона получается при первом уменьшении, мультиплицирование осуществляется непосредственно редукционной камерой, для чего в камере имеется возможность перемещать фоточувствительную пластину в процессе съемки. Современные фотоповторители обеспечивают точность до 0 2 мкм. [63]

Топологическая структура рисунка разделяется на элементарные прямоугольники с различными отношениями сторон и определенной ориентацией по углу. По заданной программе очередной элемент формируется подвижными шторками диафрагмы и разворачивается на требуемый угол, а двухкоординатный стол со светочувствительной пластиной устанавливается в положение, соответствующее координатам элемента; производится экспонирование. Затем с помощью фотоповторителя изготовляется эталонный фотошаблон, с которого снимаются рабочие копии. Дальнейшее сокращение числа ступеней создания фотошаблонов ( до одной) и повышение точности воспроизведения рисунка достигается при проекционной фотолитографии с пошаговым экспонированием. Фотошаблон ( который является и оригиналом) изготовляется на генераторе изображений. Последующее уменьшение и мультипликация изображения осуществляются на полупроводниковых пластинах, покрытых фоторезистом. Таким образом, фотоповторитель применяется непосредственно в процессе фотолитографии. К недостаткам такого процесса относится невысокая производительность. [64]

Спектральные характеристики эмульсий. [65]

В зависимости от плоскостности поверхности пластины сортируются на три типа: ультраплоские, прецизион-ноплоские и микроплоские. Плоскостность определяется интерференционным или пневматическим методом, который позволяет проводить измерения без контактирования с поверхностью. Микроплоские пластины используются для фотоповторителей, прецизионноплоские - для редукционных камер, ультраплоские - для контактной печати. [66]

Страницы: 1 2 3 4 5