Cтраница 1
Ионы аргона выбивают из материала мишени ( кристаллического германия) атомы германия, которые переносятся на подложку, где и осаждаются в виде тонких аморфных пленок. [1]
Ионы аргона в результате столкновений с молекулами спирта захватывают электроны из этих молекул и превращаются в нейтральные атомы. Эти атомы переходят из возбужденного в нормальное состояние, испуская фотон, который поглощается молекулами спирта. Обратный процесс захвата электрона ионами спирта исключается, так как потенциал ионизации аргона больше, чем потенциал ионизации молекул спирта. [2]
Ионы аргона в результате столкновений с молекулами спирта захватывают электроны из молекут спирта и превращаются в возбужденные атомы, которые переходят в нормальное состояние, испуская фотон. Фотоны поглощаются молекулами спирта. Обратный процесс захвата электрона ионами спирта невозможен, так как потенциал ионизации аргона больше, чем потенциал ионизации молекул спирта, а кинетическая энергия последнах мала. [3]
![]() |
Внешний впд установки рапшлошш. [4] |
Пучок ионов аргона первого источника направляется на мишень из кремния, чтобы получить распыляемый пучок кремния. Пучок ионов азота из второго источника направляется одновременно на подложку, так что пучок кремния и пучок ионов азота пересекается на подложке. [5]
Бомбардировка ионами аргона проводится при низких значениях параметров, для того чтобы уменьшить толщину слоя с нарушенной структурой. Для этой цели достаточен разряд в течение нескольких минут при напряжении постоянного тока 250 в и силе тока 100 ца. Так как применяемое давление аргона равно нескольким микронам, то для поддержания разряда нужно использовать небольшую индукционную катушку, расположенную вблизи разрядной трубки ( но не в контакте с ней), либо ионизирующий электронный ток внутри трубки. В процессе бомбардировки аргон внедряется в поверхность образца. Непродолжительный отжиг образца в течение нескольких минут при 500 достаточен для удаления аргона и восстановления решетки кристалла. Чтобы получить поверхности, которые после проверки методом дифракции электронов с низкими энергиями можно было бы считать почти атомно чистыми, необходимо многократно повторять попеременную тепловую обработку и бомбардировку ионами. Фотографии, сделанные с увеличением в 800 раз, указывают на то, что ионная бомбардировка в применяемых условиях уменьшает шереховатость грани ( 100) монокристаллов никеля и германия. Снятая при использовании электронов с низкой энергией электронограмма грани ( 100) кристалла никеля, предварительно подвергнутого ионной бомбардировке и отжигу, показывает, что полученная поверхность протравлена параллельно грани ( 100), и, следовательно, в пределах точности измерений ( около 5 %) можно считать, что никаких других граней не имеется. [6]
Систематика состояния иона аргона хорошо описывается связью ( LS), а не ( / /), как у его атома. [7]
Основное состояние иона аргона Is22s22p63s23p5 расщеплено на два подуровня. Низшие возбужденные состояния иона Аг соответствуют переходам одного из электронов оболочки Зр5 в более высокие состояния 4s или 4р, расщепленные на ряд подуровней. Возбуждение ионов Аг происходит в результате их столкновений с быстролетящими электронами при дуговом разряде. [8]
После травления ионами аргона в световом микроскопе хорошо видны параллельно располагающиеся межграничные области, отличающиеся от слоев пироуглерода по форме составляющих их глобул. Их наличие в микроструктуре свидетельствует о том, что процесс отложения пироуглерода, по-видимому, идет скачками. Можно предполагать, что количество и объем межграничных областей оказывают влияние на физические свойства пироуглерода, конфигурацию и размеры конусных образований. [9]
![]() |
Интенсивность тока распыленных ионов Cr, Fe и № при бомбардировке нержавеющей стали кислородом и аргоном. [10] |
При бомбардировке ионами аргона результирующий уровень образования А1, вероятно, определяется динамическим равновесием между распылением поверхностных слоев и поступлением молекул реактивных газов из остаточных газов, содержащихся в камере прибора. Это предположение было подтверждено экспериментально Андерсеном ( 1969); подобные эффекты наблюдались для всех металлических поверхностей. [11]
![]() |
Интенсивность тока распыленных ионов Cr, Fe и № при бомбардировке нержавеющей стали кислородом и аргоном. [12] |
При бомбардировке ионами аргона наблюдается потеря интенсивности вторичных ионов во времени. Можно также наблюдать конкуренцию различных элементов при взаимодействии с реактивными газами из окружающей среды, причем наиболее активным оказывается хром. При ионной бомбардировке стали наблюдается особое изменение интенсивности хрома ( ср. Можно предположить также, что окиси железа и никеля присутствуют на поверхности в незначительных количествах. [13]
Таким образом, ионы аргона не достигают катода и не могут вызвать вторичной эмиссии электронов, разряд в счетчике прекращается. В самогасящемся счетчике процесс разряда является одноступенчатым. Постоянная времени RC в этом случае мало влияет на длительность разряда. [14]
Таким образом, ионы аргона не достигают катода, а, следовательно, не могут вызвать вторичной эмиссии электронов. [15]