Блоков-кристаллит
Cтраница 1
Существенная роль границ блоков-кристаллитов проявляется при диффузии в системе Аи-Ni, когда образуются пересыщенные растворы Аи в Ni и Ni в Аи. При достижении определенного пересыщении происходит выделение частиц сплава по границам блоков-кристаллитов пленки-матрицы. Скорость диффузии по межкристал-литным границам резко увеличивается по сравнению с объемной диффузией. В результате диффузия золота в зону раствора, обогащенного никелем, образуются промежуточные фазы ( упорядоченные твердые растворы): AusNi, AuNi, AuNis - При протекании взаимной диффузии существенную роль играет диаграмма состояния исследуемой системы. [1]
Повышение скорости конденсации существенно способствует укрупнению блоков-кристаллитов. При скорости осаждения ик-250 нм / с конденсат Си по субструктуре практически не отличается от массивной отожженной меди. Нагрев пленок металлов в процессе отжига оказывает сложное влияние на субструктуру. [2]
 |
Влияние температуры подложки на микронапряжеиие а и размер ОКР L автотигельных конденсатов Ni ( fl. график для определения энергии активации процессов, вызывающих изменение а ( б и L ( в. [3] |
Процессы, от которых зависят степень дисперсности блоков-кристаллитов, их размер L и уровень микрона-пряжений о, являются термически активируемыми. [4]
Приведенные зависимости демонстрируют также корреляцию между степенью укрупнения блоков-кристаллитов и снятием напряженного состояния в пленке. Способ испарения и степень вакуума оказывают существенное влияние на дисперсность элементов субструктуры и совершенство кристаллической решетки в них. [6]
Пленки имеют столбчатую структуру, так как размер блоков-кристаллитов по толщине достигает 8 - 9 нм. Высокая дисперсность блоков-кристаллитов соответствует большой плотности дислокаций. При L 5 нм и е 0 5 % это соответствует плотности дислокаций примерно 1013 см-2. При столь высокой плотности дислокаций и малых размерах блоков-кристаллитов решетка в них испытывает заметную деформацию под влиянием полей напряжений, расположенных вокруг дислокаций. Следовательно, ОКР уже не является областью идеальной решетки, отделенной от других ОКР стенками дислокаций, а представляет деформированную решетку с полем деформаций вокруг дислокаций ( см. гл. [7]
На рис. 6 - 12 показана связь между размером блоков-кристаллитов в пленках и отношением Ta / Ts для рассмотренных металлов. Видно, что переход от легкоплавких ( А1, Аи, Ag) к тугоплавким ( Fe, Ni) металлам сопровождается существенным повышением дисперности структуры. [8]
Пленки имеют столбчатую структуру, так как размер блоков-кристаллитов по толщине достигает 8 - 9 нм. Высокая дисперсность блоков-кристаллитов соответствует большой плотности дислокаций. При L 5 нм и е 0 5 % это соответствует плотности дислокаций примерно 1013 см-2. При столь высокой плотности дислокаций и малых размерах блоков-кристаллитов решетка в них испытывает заметную деформацию под влиянием полей напряжений, расположенных вокруг дислокаций. Следовательно, ОКР уже не является областью идеальной решетки, отделенной от других ОКР стенками дислокаций, а представляет деформированную решетку с полем деформаций вокруг дислокаций ( см. гл. [9]
Из таблицы видна характерная особенность пленок тугоплавких металлов: макронапряжения значительно превышают предел текучести массивного недеформированного материала. Последнее указывает на высокий ресурс упругой деформации кристаллической решетки блоков-кристаллитов в этих пленках. [10]
Существенная роль границ блоков-кристаллитов проявляется при диффузии в системе Аи-Ni, когда образуются пересыщенные растворы Аи в Ni и Ni в Аи. При достижении определенного пересыщении происходит выделение частиц сплава по границам блоков-кристаллитов пленки-матрицы. Скорость диффузии по межкристал-литным границам резко увеличивается по сравнению с объемной диффузией. В результате диффузия золота в зону раствора, обогащенного никелем, образуются промежуточные фазы ( упорядоченные твердые растворы): AusNi, AuNi, AuNis - При протекании взаимной диффузии существенную роль играет диаграмма состояния исследуемой системы. [11]
 |
Влияние температуры Тп на магнитные ( о и субструктурные ( б характеристики пленок пермаллоя. [12] |
Подобное явление возникает по двум причинам. С одной стороны, процессы отдыха и рекристаллизации в пленках пермаллоя развиваются настолько слабо, что даже длительная выдержка при температуре осаждения ( осаждение длится примерно 2 ч) не приводит к укрупнению блоков-кристаллитов. [13]
Пленки имеют столбчатую структуру, так как размер блоков-кристаллитов по толщине достигает 8 - 9 нм. Высокая дисперсность блоков-кристаллитов соответствует большой плотности дислокаций. При L 5 нм и е 0 5 % это соответствует плотности дислокаций примерно 1013 см-2. При столь высокой плотности дислокаций и малых размерах блоков-кристаллитов решетка в них испытывает заметную деформацию под влиянием полей напряжений, расположенных вокруг дислокаций. Следовательно, ОКР уже не является областью идеальной решетки, отделенной от других ОКР стенками дислокаций, а представляет деформированную решетку с полем деформаций вокруг дислокаций ( см. гл. [14]
Пограничная диффузионная область между пленками толщиной 110 нм представляет собой метастабильный пересыщенный раствор Ag-Al. Отжиг его приводит к выделению иитерметаллида AgjAl. Одним из важных последствий выделения частиц новой фазы являются быстрый сток к ним избыточных вакансий н прекращение начальной диффузии. В системах, в которых избыточные вакансии быстро покидают объем блоков-кристаллитов, начальная диффузия наблюдается слабо или отсутствует. Исследование двухслойных эпитаксиальных пленок Au - Pd выявляет микроскопический механизм компенсации напряжений и несоответствия периодов решеток внутри - и вне диффузионной зоны. [15]
Страницы: 1 2